Apvienojumā ar tradicionālo Al2O3 un BeO substrāta materiālu visaptverošajām veiktspējas priekšrocībām alumīnija nitrīda (AlN) keramika ar augstu siltumvadītspēju (monokristāla teorētiskā siltumvadītspēja ir 275 W/m▪k, polikristāla teorētiskā siltumvadītspēja ir 70–210 W/m). ), zema dielektriskā konstante, termiskās izplešanās koeficients, kas saskaņots ar monokristālu silīciju un labas elektriskās izolācijas īpašības, ir ideāls materiāls ķēžu substrātiem un iepakojumam mikroelektronikas nozarē.Tas ir arī svarīgs materiāls augstas temperatūras strukturālajām keramikas sastāvdaļām, pateicoties labām augstas temperatūras mehāniskajām īpašībām, termiskajām īpašībām un ķīmiskajai stabilitātei.
AlN teorētiskais blīvums ir 3,26 g/cm3, MOHS cietība ir 7-8, pretestība istabas temperatūrā ir lielāka par 1016 Ωm un termiskā izplešanās spēja ir 3,5 × 10-6 / ℃ (istabas temperatūra 200 ℃).Pure AlN keramika ir bezkrāsaina un caurspīdīga, taču piemaisījumu dēļ tā būtu dažādās krāsās, piemēram, pelēka, pelēcīgi balta vai gaiši dzeltena.
Papildus augstajai siltumvadītspējai AlN keramikai ir arī šādas priekšrocības:
1. Laba elektriskā izolācija;
2. Līdzīgs termiskās izplešanās koeficients ar silīcija monokristālu, labāks par tādiem materiāliem kā Al2O3 un BeO;
3. Augsta mehāniskā izturība un līdzīga lieces izturība ar Al2O3 keramiku;
4. Vidēja dielektriskā konstante un dielektriskie zudumi;
5. Salīdzinot ar BeO, AlN keramikas siltumvadītspēju mazāk ietekmē temperatūra, īpaši virs 200℃;
6. Augstas temperatūras izturība un izturība pret koroziju;
7. Netoksisks;
8. Jāpiemēro pusvadītāju rūpniecībā, ķīmiskās metalurģijas rūpniecībā un citās rūpniecības jomās.
Publicēšanas laiks: 14. jūlijs 2023