page_banner

ST.CERA pielāgota 99,5% alumīnija oksīda keramikas iekrāvēja svira

ST.CERA pielāgota 99,5% alumīnija oksīda keramikas iekrāvēja svira

Īss apraksts:

Keramikas gala efektors/apstrādes svira ir uzstādīta uz vafeļu apstrādes robota vai “gala efektoriem” un tiek izmantota, lai pārvadātu silīcija plāksnes kasetēs vai apstrādes kamerās vai izņemtu no tām.
Keramikas izmantošanas priekšrocības ir deformācijas samazināšanās augstās lieces izturības dēļ, izturība pret augstām temperatūrām, kā arī metāla piesārņojuma un daļiņu likvidēšana.


Produkta informācija

Produktu etiķetes

Produkta informācija

Pateicoties augstas temperatūras izturības, korozijas izturības, nodilumizturības un izolācijas īpašībām, keramika ilgstoši var darboties daudzu veidu pusvadītāju ražošanas iekārtās ar augstu temperatūru, vakuumu vai korozīvu gāzi.

Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, keramikas End Effector var sasniegt izmēru pielaidi līdz ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.

Keramikas End Effector ar dobumu var darboties augstā temperatūrā līdz 800 ℃, pateicoties unikālajai keramikas līmēšanas tehnoloģijai.

Šeit ir dažādas tīrības pakāpes alumīnija oksīda keramikas īpašības.

produkta parametri

logotips

ST.CERA CO., LTD.

Materiāla datu lapa

Īpašības Vienība Alumīnija oksīds (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Krāsa Balts Ziloņkauls Ziloņkauls Ziloņkauls
Blīvums g/cm3 3.88 3.90 3.93 3.95
Ūdens absorbcija % 0 0 0 0
Grauda izmērs μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Fleksālais spēks MPa 350 360 361 350
Stingrība lūzumam MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Vikersa cietība GPa 14 15.5 16 16
Young's elastīgais modulis GPa 370 370 380 390
Siltumvadītspēja W/m·k 28 32 32 34
Termiskās izplešanās koeficients 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektriskā konstante 9.5 9.6 9.6 9.9
Dielektriskā zuduma leņķis 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektriskā izturība V/m 15 × 106 15 × 106 15 × 106 15 × 106
Specifiskā pretestība Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Ražošanas process

Izsmidzināšanas granulēšana → keramikas pulveris → formēšana → tukša saķepināšana → rupja slīpēšana → CNC apstrāde → smalka slīpēšana → izmēru pārbaude → tīrīšanas iepakojums

Būtiskas detaļas

Izcelsmes vieta: Hunaņa, Ķīna
Materiāls: alumīnija oksīda keramika
HS kods: 85471000
Piegādes iespējas: 100 gab. mēnesī
Izpildes laiks: 3-4 nedēļas
Iepakojums: Gofrēta kaste, putas, kartona kārba
Citi: pieejams pielāgošanas pakalpojums


  • Iepriekšējais:
  • Nākamais: