Alumīnija PVD izolācijas gredzens fizikālās tvaiku pārklāšanas sistēmām
St.Cera PVD izolācijas gredzens ir izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), un to izmanto fizikālās tvaiku uzklāšanas (PVD) sistēmās. Gredzens nodrošina elektrisko izolāciju starp kameras komponentiem, novēršot loka veidošanos un garantējot stabilu plazmas darbību. Galvenās īpašības ietver augstu dielektrisko izturību (15 × 10⁶ V/m), īpatnējo pretestību >10¹⁴ Ω·mm²/m un termisko stabilitāti līdz 1600 °C. Mūsu precīzās apstrādes iespējas sasniedz ārējo diametru līdz 600 mm, iekšējo diametru līdz 0,2 mm, plakanumu 0,003 mm un virsmas apdari Ra0,1. Gredzena nulles porainība un ķīmiskā inerce nodrošina ilgtermiņa uzticamību agresīvā izsmidzināšanas vidē.
Specifikācijas (pamatojoties uz 99,8 % Al)₂O₃un St.Cera ražošanas iespējas):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | 99,8% alumīnija oksīds (ziloņkaula krāsā) |
| Blīvums | 3,93 g/cm³ |
| Lieces izturība | 361 MPa |
| Vikersa cietība | 16 GPa |
| Dielektriskā izturība | 15 × 10⁶ V/m |
| Īpatnējā pretestība | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimālais ārējais diametrs | 600 mm |
| Minimālais iekšējais diametrs | 0,2 mm |
| Maksimālais biezums | 100 mm |
| Plakanums | 0,003 mm |
| Paralēlisms | 0,002 mm |
| Virsmas apdare | Ra0.1 |
| Maksimālā darba temperatūra | 1600°C |
Lietojumi:
- · Mērķa pamatnes plākšņu izolatori PVD sistēmās
- · Kameras caurvades izolatori
- · Aizsarggredzenu izolatori izsmidzināšanas sistēmās
- · Augstsprieguma izolācija plazmas kamerās
Ražošanas precizitāte:
Koncentriskums: 0,01 mm, apaļums: 0,002 mm, taisnums: 0,005 mm, perpendikulitāte: 0,005 mm, pārbaudīts ar CMM.
APriekšrocības salīdzinājumā ar polimēru izolatoriem:
- · Iztur 1600°C, salīdzinot ar polimēru <300°C robežu
- · Nav gāzu izplūšanas — saglabā vakuuma integritāti
- · Iztur pret plazmas eroziju un ķīmisku iedarbību
Pielāgošana:
Pieejami pielāgoti šķērsgriezumi, montāžas elementi, pakāpienu profili un vairāki koncentrisku gredzenu dizaini.
