-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas robota roka vafeļu apstrādei
St.Cera alumīnija oksīda keramikas robota roka ir precīzi konstruēta no 99,8 % augstas tīrības pakāpes Al₂O₃ (alumīnija oksīda). Tā apvieno izcilu lieces izturību (361 MPa), augstu cietību (16 GPa) un zemu blīvumu (3,93 g/cm³), kā rezultātā tā ir viegla, bet stingra roka pusvadītāju plākšņu pārnešanai. Materiāla termiskās izplešanās koeficients (7,2 × 10⁻⁶/°C) precīzi atbilst silīcijam, samazinot termisko neatbilstību apstrādes laikā.
-
Bernoulli keramikas efektors — bezkontakta plākšņu apstrāde plānām un trauslām plāksnēm
St.Cera Bernoulli keramikas gala efektors izmanto aerodinamisko celtspēju, lai apstrādātu vafeļus bez fiziska kontakta. Tas ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes 99,8 % alumīnija oksīda (Al₂O₃) vai silīcija karbīda (SiC), un tam ir precīzi apstrādātas sprauslas, kas izsmidzina spiediena gāzi, lai izveidotu plānu gaisa plēvi starp gala efektoru un vafeļu. Šis bezkontakta princips novērš piesārņojumu aizmugurē, malu šķembām un virsmas bojājumiem, padarot to ideāli piemērotu plānām (≤100 μm), trauslām vai deformētām vafeļu plāksnēm. Keramikas substrāts nodrošina augstu lieces izturību (361 MPa Al₂O₃; līdz 550–600 MPa SiC), mazu masu un izcilu izmēru stabilitāti, nodrošinot atkārtojamu pozicionēšanu ātrgaitas vafeļu pārneses robotos.
-
Teflona pārklājuma keramikas gala efektors – nepiedegoša virsma jutīgai vafeļu apstrādei
St.Cera teflona (PTFE) pārklājuma keramikas efektors apvieno augstas stiprības alumīnija oksīda substrātu ar vienmērīgu, zemas berzes PTFE pārklājumu (biezums 15–30 μm). Pārklājums nodrošina ārkārtīgi zemu berzes koeficientu (≤0,1), lielisku ķīmisko izturību un nelīpošas īpašības, novēršot plākšņu salipšanu un novēršot piesārņojumu aizmugurē. Pamatnē esošais keramikas substrāts (99,8% Al₂O₃) piedāvā augstu lieces izturību (361–1000 MPa), nodilumizturību un termisko stabilitāti līdz 260 °C (pārklājuma robeža). Šis efektors ir ideāli piemērots trauslu, plānu vai lipīgu plākšņu apstrādei (piemēram, pēc fotorezista pārklāšanas vai ķīmiskiem procesiem).
