Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas gredzens CVD/PVD procesa kamerām
St.Cera keramikas gredzens ir īpaši izstrādāts izmantošanai CVD (ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) un PVD (fizikālās tvaiku pārklāšanas) procesa kamerās. Šis gredzens ir izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), un tas kalpo kā kameras oderējums, fokusēšanas gredzens vai procesa komplekta sastāvdaļa, lai ierobežotu plazmu un aizsargātu kameras sienas no erozijas. Materiāls piedāvā izcilu plazmas izturību, augstu dielektrisko izturību (15×10⁶ V/m) un termisko stabilitāti līdz 1600 °C, nodrošinot ilgu kalpošanas laiku agresīvā fluora bāzes plazmas vidē. Precīzas izmēru pielaides (±0,05 mm uz iekšējā/ārējā diametra) un līdzenums (≤10 μm) nodrošina vienmērīgu vafeļu malu pozicionēšanu, uzlabojot nogulsnēšanās vienmērīgumu un samazinot daļiņu veidošanos.
Specifikācijas (pamatojoties uz 99,8% Al₂O₃):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | 99,8% alumīnija oksīds (ziloņkaula krāsā) |
| Blīvums | 3,93 g/cm³ |
| Ūdens absorbcija | 0% |
| Lieces izturība | 361 MPa |
| Lūzuma izturība | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vikersa cietība | 16 GPa |
| Janga modulis | 380 GPa |
| Siltumvadītspēja | 32 W/m·k |
| Termiskā izplešanās (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektriskā izturība | 15 × 10⁶ V/m |
| Īpatnējā pretestība | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maksimālā darba temperatūra | 1600°C |
Lietojumi:
- · CVD kameras fokusēšanas gredzeni un malu gredzeni
- · PVD kameras aizsarggredzeni un skavu gredzeni
- · Kodināšanas kameras oderējumi un vāka gredzeni
- · Plazmas ierobežošanas gredzeni dielektriskās kodināšanas sistēmās
Ražošanas process:
Izostatiskā presēšana → zaļā apstrāde → sintēšana 1600°C temperatūrā → CNC ID/OD slīpēšana → virsmas pieslīpēšana → ultraskaņas tīrīšana → 100% CMM pārbaude. Īpaši gluda virsmas apdare (Ra ≤0,4 μm) samazina daļiņu saķeri.
Kvalitātes kontrole:
- · 100% izmēru pārbaude (ID, OD, biezums, līdzenums)
- · Krāsvielu penetrācijas pārbaude, lai noteiktu virsmas mikroplaisas
- · Dielektriskās izturības pārbaude saskaņā ar ASTM D149
- · Nav redzamas krāsas izmaiņas vai porainības zem 20× mikroskopa
Priekšrocības salīdzinājumā ar metāla vai kvarca gredzeniem:
- · 5–10 reizes ilgāks kalpošanas laiks nekā alumīnija gredzeniem fluora plazmā
- · Plānās plēvēs nav metāla piesārņojuma
- · Augstāka plazmas izturība nekā kvarcam (nav erozijas bedru)
- Saglabā elektrisko izolāciju >10¹⁴ Ω·cm pat pēc ilgstošas lietošanas
Alternatīvs materiāls — silīcija nitrīds (Si₃N₄):
Lietojumiem, kuros nepieciešama vēl lielāka plīsuma izturība (6,2 MPa·m¹/²) un labāka termiskā trieciena izturība (izplešanās koeficients 3,2×10⁻⁶/℃), ir pieejami Si₃N₄ gredzeni. Tomēr lielākajai daļai CVD/PVD pielietojumu alumīnija oksīds ir izmaksu ziņā efektīvāks. Lūdzu, pasūtot, norādiet vēlamo materiālu.
Pielāgošana:
- Caururbumi, pakāpienveida profili vai iespiedumi montāžai
- · Ar Y₂O₃ pārklāta virsma uzlabotai plazmas izturībai (pēc izvēles)
- · Detaļas numura/partijas koda lāzergravēšana
Piezīme:Iepriekš minētie dati stingri atbilst pievienotajai Al₂O₃ īpašību tabulai. Informāciju par Si₃N₄ gredzeniem skatiet atsevišķajā pievienotajā Si₃N₄ datu lapā.
