12 collu alumīnija vakuuma patrona 300 mm vafeļu apstrādei
St.Cera 12 collu vakuuma patrona ir precīzi izgatavota no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃) 300 mm plākšņu apstrādei. Patronai ir smalki rievota virsma (rievas platums 0,5–1,0 mm, solis 2–3 mm), lai nodrošinātu vienmērīgu vakuuma sadalījumu visā 300 mm diametrā. Plakanums tiek saglabāts 5 μm robežās, nodrošinot plākšņu fiksāciju bez deformācijas griešanas, aizmugures slīpēšanas un pārbaudes laikā. Materiāla augstā lieces izturība (361 MPa) un cietība (16 GPa) garantē ilgtermiņa izmēru stabilitāti pat atkārtotu vakuuma ciklu laikā.
Specifikācijas (pamatojoties uz 99,8 % Al₂O₃):
| Īpašums | Vērtība |
| Diametrs | 300 mm (12 collas) |
| Materiāls | 99,8% alumīnija oksīds (ziloņkaula krāsā) |
| Blīvums | 3,93 g/cm³ |
| Lieces izturība | 361 MPa |
| Vikersa cietība | 16 GPa |
| Plakanums (virs 300 mm) | ≤5 μm |
| Rievas platums | 0,5–1,0 mm |
| Maksimālā darba temperatūra | 800°C |
| Dielektriskā izturība | 15 × 10⁶ V/m |
Lietojumi:
300 mm vafeļu griešana un skrāpēšana
Vafeļu aizmugures slīpēšana (plānu atbalsts)
Optiskā pārbaude un zondēšana
Pagaidu līmēšanas/atvienošanas patronas
Ražošana:
CNC slīpēts un pieslīpēts līdz galīgajam līdzenumam, rievots ar dimanta riteņiem, ultraskaņas tīrīts un iepakots 100. klases tīrtelpā. Katra patrona tiek 100% pārbaudīta attiecībā uz līdzenumu (lāzera interferometrs) un rievas dziļumu (profilometrs).
Priekšrocības:
Zema daļiņu ģenerēšana (≤0,05 daļiņas/cm²)
Ķīmiski inerts pret šķīdinātājiem un skābēm
ESD droša virsma (pretestība >10¹³ Ω·cm)
Pieejami pielāgoti vakuuma caurumu raksti un aizmugurējās pieslēgvietas.
