Alumīnija oksīda gāzes sadales plāksne CVD/PVD dušas galvai
St.Cera gāzes sadales plāksne (dušas galviņa) ir precīzi izgatavota no augstas tīrības pakāpes 99,8 % alumīnija oksīda keramikas. Tajā ir virkne mikrocaurumu (diametrs 0,3–1,5 mm), kas nodrošina vienmērīgu gāzes plūsmu pāri vafeļu virsmai CVD, PVD vai ALD procesu laikā. Plāksnes augstā dielektriskā izturība (>15 × 10⁶ V/m) un plazmas pretestība padara to neaizstājamu pusvadītāju plāno kārtiņu nogulsnēšanai.
Specifikācijas:
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | 99,8% Al₂O₃ vai SiC |
| Diametrs | 100–1500 mm (apaļa vai taisnstūrveida) |
| Biezums | 5–20 mm |
| Cauruma diametrs | 0,3–1,5 mm |
| Caurumu raksts | Pielāgots (trīsstūrveida, kvadrātveida, radiāls) |
| Plakanums | ≤10 μm visā laukumā |
| Virsmas raupjums | Ra ≤0,6 μm (gāzes pusē) |
| Atvērtā laukuma attiecība | 5–15% |
Lietojumi:
PECVD dušas galvas plāksnes
ALD gāzes iesmidzinātāji
Kodināšanas kameras gāzes sadales plāksnes
MOCVD reaktora komponenti
Ražošana:
Alumīnija oksīda substrāta slīpēšana → CNC urbšana ar dimanta pārklājuma instrumentiem (urbuma pozīcijas pielaide ±0,02 mm) → atgratēšana → ultraskaņas tīrīšana → 100. klases iepakojums.
Kvalitātes kontrole:
Katra plāksne tiek 100% pārbaudīta attiecībā uz caurumu izmēru (redzes sistēma), līdzenumu (lāzera interferometrs) un gāzes plūsmas vienmērīgumu (spiediena kartēšana). Zem 20x mikroskopa nav mikroplaisu.
Priekšrocības salīdzinājumā ar metāla plāksnēm:
Plānās plēvēs nav metāliska piesārņojuma
Mazāka daļiņu veidošanās (nav korozijas pārslu)
Iztur agresīvas tīrīšanas plazmas (CF₄, NF₃) iedarbību
Pielāgotas funkcijas:
Aizmugurējie gāzes kanāli, preturbti caurumi, malu blīvējumi un dažādas materiālu klases (SiC augstākai siltumvadītspējai, Y₂O₃ pārklājums plazmas izturībai).
Pirms ražošanas mēs nodrošinām CAD verifikāciju un plūsmas simulāciju.
