Keramikas atbalsta tapa pusvadītāju procesa armatūrai
St.Cera keramikas atbalsta tapas (pazīstamas arī kā pacelšanas tapas vai atbalsta tapas) tiek izmantotas pusvadītāju procesu kamerās, lai paceltu plāksnes vai substrātus apstrādes, karsēšanas vai dzesēšanas laikā. Šīs tapas ir izgatavotas no 99,8 % alumīnija oksīda vai silīcija nitrīda, un tām ir augsta spiedes izturība, termiskā stabilitāte un ķīmiskā izturība. Puslodes vai plakanais uzgaļa dizains novērš plākšņu skrāpējumus.
Specifikācijas(Alumīnija oksīds 99,8%):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | 99,8 % Al₂O₃ vai Si₃N₄ |
| Garums | 10–100 mm |
| Diametrs | 1–10 mm |
| Uzgaļa forma | Plakans, puslodes formas, smails |
| Spiedes stiprība (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimālā darba temperatūra (Al₂O₃) | 1600°C |
| Virsmas apdare | Pārklāts (Ra ≤0,4 μm) |
| Diametra pielaide | ±0,01 mm |
Lietojumi:
Pacelšanas tapas CVD/PVD kamerās
Atbalsta tapas cepšanai uz sildvirsmas
Zondes kartes atbalsta struktūras
Kvarca krāsns laivu balsti
Ražošana:
Precīza OD bezcentriska slīpēšana → uzgaļa profila dimanta slīpēšana → ultraskaņas tīrīšana → 100% izmēru pārbaude.
Kvalitātes kontrole:
KMM garuma/diametra noteikšanai, optiskais komparators uzgaļa rādiusa noteikšanai, slodzes pārbaude spiedes stiprības pārbaudei (nejauši izvēlēts paraugs no katras partijas). Nav feromagnētiska piesārņojuma (pārbaudīts ar magnētu).
Priekšrocības salīdzinājumā ar metāla vai kvarca tapām:
5 reizes ilgāks kalpošanas laiks nekā nerūsējošajam tēraudam
Procesa kamerā nav metāla piesārņojuma
Augstāka temperatūras izturība nekā kvarcam (1600°C pret 1100°C)
Nelīpoša virsma (samazināta daļiņu saķere)
Pielāgošana:
Vairāki uzgaļu profili, vītņota pamatne vai konusveida vārpsta.
Mēs piegādājam arī SiC tapas ekstremālām plazmas vidēm.
