ESD drošas alumīnija oksīda keramikas detaļas statiski jutīgu vafeļu apstrādei
St.Cera ESD (elektrostatiskās izlādes) drošas alumīnija oksīda keramikas detaļas ir izgatavotas no 99,8 % augstas tīrības pakāpes Al₂O₃ ar pielāgotu virsmas pretestību 10⁶–10⁹ Ω/kv., kas panākta, izmantojot patentētu dopinga vai pārklāšanas procesu. Šīs detaļas efektīvi izkliedē statisko lādiņu, novēršot elektrostatiskos bojājumus jutīgām pusvadītāju plāksnēm un ierīcēm. Pamatmateriāls saglabā savu augsto lieces izturību (361 MPa), cietību (16 GPa) un dielektrisko izturību (15 × 10⁶ V/m). ESD drošas keramikas detaļas ietver gala efektorus, pacelšanas tapas, vadotnes un pielāgotus stiprinājumus FAB automatizācijai.
Specifikācijas(pamatojoties uz 99,8% Al₂O₃ ar ESD apstrādi):
| Īpašums | Vērtība |
| Pamatmateriāls | 99,8% alumīnija oksīds |
| Virsmas pretestība (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kv. |
| Blīvums | 3,93 g/cm³ |
| Lieces izturība | 361 MPa |
| Vikersa cietība | 16 GPa |
| Janga modulis | 380 GPa |
| Termiskā izplešanās (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimālā darba temperatūra | 800°C |
| Dielektriskā izturība (bez taras) | 15 × 10⁶ V/m |
Piezīme: ESD virsmas pretestība nav norādīta pievienotajās materiālu īpašību tabulās. Iepriekš minētais diapazons ir nozares standarts disipatīvajai keramikai. Lūdzu, sazinieties ar mums, lai saņemtu testa pārskatus.
Lietojumi:
● ESD droši gala efektori vafeļu pārnešanai
● Zemējuma tapas un ESD armatūra FAB iekārtās
● Testa ligzdas ierīcēm, kas ir jutīgas pret statisko elektrību
● Tīrtelpu instrumenti, kuros statiskās elektrības kontrole ir kritiski svarīga
Ražošana un kvalitāte:
Standarta alumīnija oksīda apstrāde + ESD virsmas apstrāde → virsmas pretestība, kas mērīta saskaņā ar ANSI/ESD STM11.11. Katra detaļa tiek 100% pārbaudīta ar koncentrisku gredzena elektrodu.
Priekšrocības:
● Novērš ar ESD saistītus ražas zudumus
● Saglabā keramikas mehānisko izturību un ķīmisko izturību
● Statiskās izlādes rezultātā nerodas daļiņas
