Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas blīvgredzens augstas temperatūras kameras blīvēšanai
St.Cera keramikas blīvgredzens ir izstrādāts kā alternatīva polimēru O veida gredzeniem ekstremālos apstākļos, kur elastomēri degradējas. Šis stingrais blīvgredzens, kas izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), tiek izmantots statiskās blīvēšanas pielietojumos — parasti kopā ar mīksta metāla vai grafīta blīvi —, lai nodrošinātu uzticamu vakuuma vai gāzes izolāciju temperatūrā līdz 800 °C un agresīvā plazmas vai ķīmiskā vidē. Materiāls neizdala gāzes, tam ir augsta spiedes izturība (pamatnes lieces izturība 361 MPa) un ķīmiskā inertitāte (izturīgs pret halogēniem, skābēm un sārmiem, izņemot HF). Precīzi slīpētas blīvēšanas virsmas (plakanums ≤5 μm, virsmas raupjums Ra ≤0,2 μm) nodrošina hermētisku kontaktu ar atbilstošajiem metāla vai keramikas komponentiem.
Specifikācijas(pamatojoties uz 99,8 % Al)₂O₃):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | 99,8% alumīnija oksīds (ziloņkaula krāsā) |
| Blīvums | 3,93 g/cm³ |
| Ūdens absorbcija | 0% |
| Lieces izturība | 361 MPa |
| Spiedes stiprība (aprēķinātā) | >2000 MPa |
| Vikersa cietība | 16 GPa |
| Termiskā izplešanās (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimālā darba temperatūra | 800°C (gaiss), 1600°C (inertā gaismā) |
| Virsmas apdare (blīvējuma virsma) | Ra ≤0,2 μm (pārklāts) |
| Plakanums (uz 25 mm) | ≤5 μm |
| Hēlija noplūdes ātrums | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (ar atbilstošu blīvi) |
Lietojumi:
- · Pusvadītāju procesa kameras statiskie blīvējumi (CVD, PVD, kodināšana)
- · Augstas temperatūras krāsns durvju blīvējumi
- · Vakuuma caurvades atloki
- · Ķīmiskā reaktora tvertņu noslēgšana
Ražošanas process:
Izostatiskā presēšana → sintēze 1600°C temperatūrā → precīza divpusēja slīpēšana, lai panāktu īpaši plakanas, gludas blīvēšanas virsmas → malu slīpēšana → ultraskaņas tīrīšana. Katrs gredzens ir 100% hermētiskuma pārbaudīts ar hēlija noplūdes detektoru ar standarta metāla blīvi.
Kvalitātes kontrole:
- · CMM izmēru pārbaude (ID, OD, biezums, paralēlisms)
- · Virsmas profilometrs Ra un viļņainības noteikšanai
- · Plakanuma mērīšana, izmantojot optisko plakanvirsmu
- · Hēlija noplūdes pārbaude (pretspiediena metode)
Priekšrocības salīdzinājumā ar polimēru O-gredzeniem:
- · Iztur 800°C pret <300°C FFKM
- · Nulle gāzu izmešu — vakuuma vide netiek piesārņota
- · Izturīgs pret visām plazmas ķīmiskajām vielām (fluoru, hloru, skābekli)
- · Nav saspiešanas deformācijas vai paliekošas deformācijas
- · Neierobežots kalpošanas laiks tīrā vidē
Ierobežojumi (svarīgas piezīmes):
- · Nav O veida gredzens— tas ir stingrs keramikas gredzens, kura blīvēšanai nepieciešama mīksta blīve (vara, alumīnija vai grafīta).
- · Nepiemēro dinamisko kustību vai lielu atloka nobīdi.
- · Augstākas sākotnējās izmaksas nekā polimēru O veida gredzeniem, bet ilgāks kalpošanas laiks samazina ekspluatācijas izmaksas.
- · Trausls — rīkojieties uzmanīgi; izvairieties no punktveida triecieniem vai lieces sprieguma.
Piezīme:Iepriekš minētie dati stingri atbilst pievienotajai Al₂O₃ īpašību tabulai. Dati par elastomēru materiāliem netika sniegti. Šis produkts ir statisks blīvgredzens, nevis elastomēra O veida gredzens. Lūdzu, apstipriniet, vai tas atbilst jūsu lietojuma prasībām.
