Silīcija karbīda (SiC) vakuuma patrona augstas temperatūras un plazmas vidēm
St.Cera SiC bāzes keramikas patrona ir izgatavota no augstas tīrības pakāpes silīcija karbīda (partija S1111, SiC 99,72%, brīvais Si 0,05%). Tā nodrošina izmērīto lieces izturību 449 MPa, plīsuma izturību 3,12 MPa·m¹/² un elastības moduli 457 GPa. Materiāla tipiskā siltumvadītspēja (120–150 W/m·K) un zemā termiskā izplešanās (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) nodrošina strauju temperatūras paaugstināšanos un minimālu vafeļu deformāciju termiskās cikla laikā. Patronu var konfigurēt kā porainu vakuuma patronu (vienmērīga gāzes plūsma) vai rievotu standarta patronu. Ar maksimālo lietošanas temperatūru 1600–1700°C (bez slodzes) un izcilu izturību pret plazmas eroziju, šī patrona ir ideāli piemērota augstas temperatūras vafeļu apstrādei (atkvēlināšanai, RTP) un agresīvām kodināšanas kamerām, kur alumīnija oksīda patronas degradējas.
Specifikācijas(pamatojoties uz sniegto SiC S1111 testa ziņojumu un tipiskajām vērtībām):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % brīvā Si) |
| Blīvums | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Ūdens absorbcija | 0% |
| Lieces izturība | 449 MPa |
| Lūzuma izturība | 3,12 MPa·m¹/² |
| Elastības modulis | 457 GPa |
| Vikersa cietība | 25–28 GPa |
| Siltumvadītspēja | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimālā lietošanas temperatūra (bez slodzes) | 1600–1700 °C |
| Plakanums (virs 300 mm) | ≤5 μm |
| Virsmas apdare | Ra ≤0,4 μm (pārklāts) |
Lietojumi:
● Augstas temperatūras satveršana (atkvēlināšana, RTP, epitaksiāla augšana)
● Plazmas kodināšanas patrona ar augstu izturību pret fluoru
● Plānu vafeļu apstrāde ar vienmērīgu sildīšanu/dzesēšanu
● Porains patrons bezkontakta vafeļu atbalstam
Ražošana:
SiC sintēze → precīza līdzenuma un virsmas profila slīpēšana → porainas struktūras veidošana pēc izvēles (vakuuma patronai) → slīpēšana → ultraskaņas tīrīšana. Katra patrona tiek 100% pārbaudīta attiecībā uz līdzenumu (lāzera interferometrs) un vakuuma vienmērīgumu (plūsmas tests).
Kvalitātes kontrole:
● CMM izmēru pārbaude (diametrs, biezums, caurumu pozīcijas)
● Plakanuma mērījums saskaņā ar ASTM standartu
● Hēlija noplūdes pārbaude (vakuuma patronām)
● Lieces izturības pārbaude katrai partijai (sk. testa ziņojumu)
Priekšrocības salīdzinājumā ar alumīnija oksīda patronām:
● Augstāka siltumvadītspēja (120–150 salīdzinājumā ar 32 W/m·K alumīnija oksīdam) – 4 reizes ātrāka siltuma pārnešana
● Zemāks CTE (4,0 pret 7,2×10⁻⁶/℃) — samazina vafeļu termisko spriegumu
● Izcila plazmas izturība — 10 reizes ilgāks kalpošanas laiks fluora kodināšanā
● Augstāka maksimālā lietošanas temperatūra (1600 °C salīdzinājumā ar 800 °C alumīnija oksīdam)
Pielāgošana:
● Poraina vai rievota virsma
● Diametrs 100–450 mm, apaļa vai kvadrātveida
● Malu blīvējuma gredzens vai zonas vakuuma starpsienas
● Metāla pamatnes opcija augstas stingrības montāžai
Visi iepriekš minētie mehāniskie dati ir iegūti no pievienotā testa ziņojuma (partija S1111). Termiskās un cietības vērtības ir tipiskas šai SiC klasei. Porainām SiC patronām nepieciešama papildu apstrāde; lūdzu, jautājiet par konkrētu porainību un poru izmēru pieejamību.
