Silīcija karbīda (SiC) keramikas gala efektors — augsta stingrība augstas temperatūras vafeļu apstrādei
St.Cera SiC keramikas gala efektors ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes silīcija karbīda (SiC saturs 99,72%, brīvais Si 0,05%), izmantojot S1111 partijas materiālu. Tam ir izcilas mehāniskās īpašības: lieces izturība 449 MPa (izmērīta), elastības modulis 457 GPa (izmērīta) un Vikersa cietība 25–28 GPa (tipiska). Zemais blīvums (3,10–3,15 g/cm³, tipiski) nodrošina augstu īpatnējo stingrību, kas ir ideāli piemērota ātrgaitas vafeļu pārneses robotiem. Ar siltumvadītspēju 120–150 W/m·K (tipiska) un termiskās izplešanās koeficientu 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipiska), šis gala efektors efektīvi izkliedē siltumu un saglabā izmēru stabilitāti augstas temperatūras apstrādes laikā (līdz 1600–1700°C, bez slodzes). Melnā/pelēkā krāsa un nulles ūdens absorbcija nodrošina saderību ar tīrtelpu.
Specifikācijas(pamatojoties uz sniegto SiC S1111 testa ziņojumu un tipiskajām vērtībām):
| Īpašums | Vērtība |
| Materiāls | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % brīvā Si) |
| Krāsa | Melns/pelēks |
| Blīvums | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Ūdens absorbcija | 0% |
| Lieces izturība | 449 MPa (vidēji) |
| Lūzuma izturība | 3,12 MPa·m¹/² (vidēji) |
| Elastības modulis | 457 GPa |
| Vikersa cietība | 25–28 GPa |
| Siltumvadītspēja (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimālā lietošanas temperatūra (bez slodzes) | 1600–1700 °C |
Lietojumi:
● Augstas temperatūras vafeļu apstrāde (pēc atkvēlināšanas, RTP, epitaksija)
● Plazmas kodināšanas kameras, kurām nepieciešama augsta erozijas izturība
● Ātrgaitas pārneses roboti (viegli, ar augstu stingrību)
Ražošana:
SiC pulvera sintēze → precīza roku profila un stiprinājuma elementu CNC slīpēšana → virsmas slīpēšana → ultraskaņas tīrīšana. 100% izmēru pārbaude un hēlija noplūdes tests vakuuma lietojumprogrammām.
Kvalitātes kontrole:
● Garuma, platuma un līdzenuma pārbaude ar CMM
● Lieces izturības pārbaude katrai partijai (saskaņā ar testa ziņojuma standartu)
● Vizuāla virsmas defektu pārbaude mikroskopā
Priekšrocības salīdzinājumā ar alumīnija oksīdu vai metālu:
● 2 reizes lielāks elastības modulis (457 GPa pretstatā ~380 GPa alumīnija oksīdam) — mazāka novirze
● 3 reizes augstāka siltumvadītspēja — ātrāka siltuma izkliede
● Iztur >1600°C, salīdzinot ar alumīnija oksīda 800°C temperatūru gaisā
● Mazāks blīvums nekā tēraudam — svara samazinājums par 40 %
Pielāgošana:
Garumi 150–450 mm, uzgaļu formas (ar satvērienu no malām, Bernulli, plakanas), montāžas atloku raksti saskaņā ar OEM rasējumu.
*Visi iepriekš minētie mehāniskie dati ir ņemti no pievienotā testa ziņojuma (partija S1111). Termiskās un cietības vērtības ir tipiskas šai SiC klasei; lūdzu, sazinieties ar mums, lai saņemtu partijai specifisku sertifikāciju.*
