Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda kameras fokusēšanas gredzens plazmas kodināšanas un CVD sistēmām

St.Cera kameras fokusēšanas gredzens ir kritiski svarīga procesa komplekta sastāvdaļa, ko izmanto plazmas kodināšanas, CVD un PVD pusvadītāju iekārtās. Gredzens, kas izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), ieskauj plāksnes malu, lai ierobežotu plazmu un optimizētu jonu leņķisko sadalījumu, tādējādi uzlabojot kodināšanas vienmērīgumu visā plāksnes virsmā. Materiāls piedāvā izcilu plazmas pretestību, augstu dielektrisko izturību (15 × 10⁶ V/m) un termisko stabilitāti līdz 1600 °C, nodrošinot ilgtermiņa uzticamību agresīvā fluora vai hlora plazmas vidē. Precīzi slīpēts iekšējais/ārējais diametrs un līdzenums (≤10 μm) nodrošina precīzu plāksnes malas pozicionēšanu, samazinot malu defektus un daļiņu veidošanos.

Specifikācijas(pamatojoties uz 99,8 % Al)₂O₃):

Lietojumi:

• · Dielektriskās kodināšanas kameras fokusa gredzeni (oksīda, nitrīda kodināšana)
• · Silīcija kodināšanas kameras malu gredzeni
• · CVD kameras procesa komplekta gredzeni
• · PVD kameras aizsargs un skavas gredzeni

Ražošanas process:

Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulveris tiek izostatiski presēts → apstrādāts ar svaigu frēzējumu gandrīz līdz neto formai → sintēts 1600°C temperatūrā → CNC dimanta slīpēšana, nosakot iekšējo diametru, ārējo diametru un biezumu → slīpēšana, lai panāktu līdzenumu ≤10 μm → ultraskaņas tīrīšana → 100% CMM pārbaude. Virsmas apdare Ra ≤0,4 μm samazina daļiņu saķeri.

Kvalitātes kontrole:

• · 100% izmēru pārbaude (ID, OD, biezums, paralēlisms)
• · Krāsvielu iespiešanās tests mikroplaisām (plaisas nav atļautas)
• Vizuāla pārbaude ar 20× mikroskopu — nav šķembu, tukšumu vai krāsas izmaiņu
• · Dielektriskās izturības pārbaude saskaņā ar ASTM D149 (paraugu ņemšana)

Priekšrocības salīdzinājumā ar silikona vai kvarca fokusa gredzeniem:

• · 5–10 reizes ilgāks kalpošanas laiks fluorogļūdeņraža plazmā
• · Nav patērējamu erozijas daļiņu, kas piesārņotu vafeles
• · Augstāka dielektriskā izturība novērš loka veidošanos
• Saglabā līdzenumu un izmēru precizitāti tūkstošiem RF stundu laikā

Alternatīvs materiāls — ar itriju stabilizēts cirkonijs (ZrO₂):

Lietojumiem, kuros nepieciešama augstāka plīstizturība (piemēram, kamerām ar biežu termisko ciklu vai mehānisku triecienu), ir pieejami ZrO₂ fokusa gredzeni (blīvums 6,03 g/cm³, lieces izturība 1000 MPa, plīstizturība 5–8 MPa·m¹/²). Tomēr alumīnija oksīds piedāvā labāku izmaksu efektivitāti un ir nozares standarts lielākajai daļai fokusa gredzenu pielietojumu.

Pielāgošana:

• · Pakāpienu profili, iedobumi vai montāžas caurumi saskaņā ar klienta rasējumu
• · Y₂O₃ pārklājums uzlabotai plazmas erozijas izturībai (biezums 20–100 μm)
• · Detaļas numura, datuma koda vai izlīdzināšanas atzīmju lāzermarķēšana

Piezīme:Visi dati stingri atbilst pievienotajai Al₂O₃ īpašību tabulai. ZrO₂ specifikācijas skatiet pievienotajā cirkonija oksīda datu lapā. Fokusa gredzenu dizainiem var būt nepieciešama patentu saskaņošana — klienti ir atbildīgi par intelektuālā īpašuma tiesību pārbaudi.