Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas gala efektors vafeļu apstrādes robotiem

St.Cera alumīnija oksīda keramikas gala efektors ir precīzi izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes Al₂O₃, izmantojot modernu 5 asu CNC slīpēšanas aprīkojumu. Mūsu ražošanas iespējas ietver precīzijas slīpmašīnas un CNC apstrādes centrus, kas ļauj izgatavot sarežģītas ģeometrijas ar augstu precizitāti. Gala efektoram ir plāns profils (pat 1,5 mm biezs) ar konusveida priekšējo malu vienmērīgai plāksnīšu ievietošanai. Materiāls nodrošina augstu stingrību (Joungas modulis 380 GPa), izcilu nodilumizturību un termisko stabilitāti līdz 800 °C. Katra vienība ir precīzi slīpēta, lai panāktu 0,003 mm līdzenumu, 0,002 mm paralēlismu un Ra0,1 virsmas apdari, nodrošinot vienmērīgu plāksnīšu kontaktu un darbību bez daļiņām pusvadītāju FAB vidē. Pieejams garumā no 150 mm līdz 450 mm, ar pielāgotu uzgaļu ģeometriju (malu satvēriens, Bernulli, plakans) un montāžas atlokiem, lai tie atbilstu OEM robotiem. Virsmas apdares iespējas ietver pārlapotu, pulētu vai ESD disipatīvo pārklājumu (10⁶–10⁹ Ω/kv.).

Specifikācijas (pamatojoties uz 99,8 % Al)₂O₃un St.Cera ražošanas iespējas):

Lietojumi:

• · Vafeļu pārnešana vakuuma un atmosfēras robotos
• · FAB automatizācijas gala efektori 200 mm/300 mm vafelēm
• · Plānu vafeļu apstrāde (ar ESD opciju)

Ražošanas iespējas:
Mūsu precīzās slīpmašīnas un CNC apstrādes centri ļauj ražot sarežģītas keramikas detaļas ar:

• · Maksimālais apstrādes garums: 1500 mm
• · Maksimālais ārējais diametrs: 600 mm
• Minimālais iekšējais diametrs: 0,2 mm
• · Maksimālais biezums: 100 mm

Kvalitātes kontrole:
Taisnums 0,005 mm, perpendikulitāte 0,005 mm, apaļums 0,002 mm, paralēlisms 0,002 mm, koncentriskums 0,01 mm, pārbaudīts ar skaitliski magnētisko mērinstrumentu (CMM). Katra vienība ir ultraskaņas tīrīta un iepakota 100. klases tīrtelpā.