Ar metāla pamatni aprīkota poraina SiC vakuuma patrona deformētu un plānu plākšņu apstrādei
St.Cera metāla bāzes keramikas vakuuma patrona apvieno porainu silīcija karbīda (SiC) keramikas slāni ar precīzi apstrādātu metāla pamatni (alumīniju vai nerūsējošo tēraudu). Porainais SiC materiāls (zili melns, porainība 35–40%, poru izmērs 20–30 μm, caurlaidība 60 ml/cm²·min) nodrošina vienmērīgu, maigu vakuuma sadalījumu pa visu plāksnītes virsmu, novēršot malu izsmērēšanos un nodrošinot bezkontakta atbalstu plānām (≤100 μm) vai deformētām plāksnītēm. SiC slānim ir zema termiskā izplešanās (3,5×10⁻⁶/℃), termiskā stabilitāte līdz 1000°C un vidēja lieces izturība (32–35 MPa). Metāla pamatne nodrošina konstrukcijas stingrību, ērtu montāžu caur vītņotiem caurumiem un aizsardzību pret trausliem lūzumiem. Šī patrona ir ideāli piemērota aizmugurējās puses slīpēšanai, griešanai kubiņos un augstas temperatūras plāksnīšu apstrādei, kur ir kritiski svarīga vienmērīga vakuuma un termiskā saderība.
Specifikācijas (pamatojoties uz piegādātajiem porainā SiC datiem):
| Īpašums | Vērtība |
| Keramikas materiāls | Porains silīcija karbīds (SiC ≥80%) |
| Krāsa | Zili melna |
| Porainība | 35–40% |
| Poru izmērs | 20–30 μm |
| Blīvums | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Caurlaidība | 60 ml/cm²·min |
| Lieces izturība | 32–35 MPa |
| Termiskās izplešanās koeficients (25–1000 °C) | 3,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimālā darba temperatūra | 1000°C |
| Elektriskā pretestība | 10⁻¹⁰ Ω/cm (saskaņā ar piegādātajiem datiem, tipiski porainam SiC) |
| Metāla pamatmateriāls | Alumīnijs 6061 vai nerūsējošais tērauds 304 (pēc izvēles) |
| Metāla pamatnes biezums | 10–30 mm (pēc pasūtījuma) |
Piezīme: Porainības dēļ lieces izturība ir zemāka nekā blīvam SiC. Metāla pamatnes īpašības nav no keramikas galdiem.
Lietojumi:
- · Plānu plākšņu (≤100 μm) aizmugures slīpēšana
- · Izliekta vafeļu montāža kubiņos sadalīšanai
- · Augstas temperatūras vafeļu saspiešana (līdz 1000°C)
- Vakuuma armatūra porainiem vai trausliem substrātiem
Ražošana:
Poraina SiC plāksne (veidota ar poru veidotājiem, saķepināta) → pārlapota līdz plakanumam ≤10 μm → metāla pamatne ar vakuuma atverēm un stiprinājuma elementiem → epoksīda saistviela vai mehāniska skava → hēlija noplūdes pārbaude.
Kvalitātes kontrole:
- · Porainība un poru izmērs pārbaudīti ar SEM
- · Caurlaidības tests (gaisa plūsma)
- · Plakanuma mērīšana ar lāzerinterferometru
- · Hēlija noplūdes ātrums <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Priekšrocības salīdzinājumā ar rievotām vai blīvām keramikas patronām:
- · Nav vafeļu marķēšanas — vienmērīgs vakuums bez atsevišķiem caurumiem
- · Pašattīrošas poras – samazināts aizsērējums
- · Apstrādā deformētas plāksnes (līdz 500 μm izliekuma)
- · Metāla pamatne novērš trauslu lūzumu un vienkāršo integrāciju
Ierobežojumi:
- · Zemāka lieces izturība (32–35 MPa) – jāizvairās no trieciena slodzes
- · Darba temperatūra ierobežota līdz 1000 °C (porains SiC), bet metāla bāzes epoksīda saite ierobežojas līdz ≤200 °C, ja vien tā nav mehāniski nostiprināta
- · Nav paredzēts augstspiediena vakuumam (porainā struktūra ierobežo maksimālo vakuuma diferenciāli)
Pielāgošana:
- · Metāla pamatne: alumīnijs (viegls), nerūsējošais tērauds (izturīgs pret koroziju), Invar (ar zemu izplešanās spēju)
- · Līmēšana: epoksīda sveķi (≤200°C) vai mehāniska skava (līdz 500°C)
- · Malu blīvējuma gredzens zonas vakuuma kontrolei
Lūdzu, ņemiet vērā: piegādātā lieces izturība (32–35 MPa) ir ievērojami zemāka nekā blīvai keramikai porainības dēļ. Rīkojieties uzmanīgi, lai izvairītos no malu šķembām.
